Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 4 Турбомолекулярные вакуумные насос
Настоящий стандарт совместно с ГОСТ 32974.1 устанавливает методы измерения характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов, распространяется на все типы и размеры турбомолекулярных вакуумных насосов: - с механическими или магнитными подшипниками; - с или без дополнительной(ых) молекулярной(ых) ступени(ей) или других откачных ступеней на валу; - одним или несколькими впускными отверстиями.
ВЗАМЕН ГОСТ 33518-2015 (ISO 5302:2003)