Получение распределения частиц по размерам. Оптические методы оценки отдельных частиц. Часть 4. Счетчики частиц в воздухе для чистых зон, работающие на принципе рассеяния света
Настоящий стандарт устанавливает требования к калибровке и проверке работоспособности счетчиков частиц в воздухе, работающих по принципу рассеяния света, которые используют для счетной концентрации взвешенных в воздухе частиц в зависимости от их размеров. Метод основан на рассеянии света отдельной частицей. Типовой диапазон значений частиц для оценки по данному методу находится в пределах от 0,1 до 10 мкм. Счетчики, на которые распространяется настоящий стандарт, используют для классификации чистоты воздуха в чистых помещениях по ИСО 14644-1, а также для оценки числа частиц и их распределения по размерам в других областях. Настоящий стандарт устанавливает требования к: - калибровке по размерам частиц; - проверке установки размеров; - эффективности счета; - разрешающей способности по размерам; - определению ложного счета; - максимально допустимой концентрации частиц; - скорости отбора проб; - времени отбора проб; - объему пробы; - периодичности калибровки; - протоколу калибровки
