Государственная система обеспечения единства измерений. Средства измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 10 - 30 нм. Методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик экстремального ультрафиолетового излучения - радиометры ЭУФ излучения, используемые для измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 10-30 нм, и устанавливает методику их поверки
