Изделия микросистемной техники. Элементы чувствительные микроэлектромеханических преобразователей физических величин. Общие технические условия
Настоящий стандарт распространяется на чувствительные элементы, разрабатываемые и поставляемые в качестве компонентов микроэлектромеханических преобразователей физических величин производственно-технического назначения. Настоящий стандарт не распространяется на чувствительные элементы, предназначенные для применения в пьезоэлектрических приборах
