Вакуумная технология. Клапаны. Испытания на герметичность
Настоящий стандарт устанавливает методы проведения испытаний на герметичность вакуумных клапанов, используемых для регулирования потока газа или давления в вакуумной системе. Действие настоящего стандарта распространяется на вакуумные клапаны, которые в закрытом состоянии обеспечивают поток натекания не более 1·10-5 Па·м3/с. В настоящем стандарте рассматриваются также методы, используемые для контроля герметичности корпуса клапана. Методы применяют для проверки соответствия герметичности клапана техническим характеристикам, указанным производителем
