ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов
Распространяется на государственную поверочную схему для средств измерений эллипсометрических углов Дельта (?) и Пси (?) (? - разность фаз между двумя ортогональными p- и s-компонентами вектора напряженности электрического поля световой волны, отраженной или прошедшей через исследуемый объект, tg? -отношение амплитуд p- и s-компонент вектора напряженности электрического поля световой волны) для оптического излучения в видимой области спектра (Приложение А) и устанавливает назначение государственного перввичного эталона единиц эллипсометрических углов - градуса, комплекс основных средств измерений, входящих в его состав, основные метрологические характеристики эталона и порядок передачи размера единиц эллипсометрических углов от государственного первичногго эталона с по-мощью рабочих эталонов 1-го и 2-го разрядов рабочим средствам измере-ний с указанием погрешностей и основных методов передачи размера еди-ницы
Приказом Комитета технического регулирования и метрологии от 26 ноября 2013 г. № 542-од межгосударственный стандарт введен в действие в качестве национального стандарта 01.07.2014 г.
