Қазақстан Республикасының Мемлекеттік өлшем бірлігін қамтамасыз ету жүйесі. 10 НМ-ден 30 НМ дейінгі толқынның ұзындық ауқымында экстремалды ультракүлгін сәулелену рефлектометрі. Салыстырып тексеру әдістемесі
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения – ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн от 10 нм до 30 нм (далее ЭУФ-рефлектометры). Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне ЭУФ проводят для определения эффективности зеркал и дифракционных решеток при контроле технологических процессов формирования многослойных наноструктур. В качестве источников ЭУФ-излучения используют источники синхронного излучения, переходного излучения и излучатели типа плазменный фокус. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют кремниевые фотодиоды с многослойными нанопокрытиями, вторичные электронные умножители и канальные электронные умножители.
Приказом Председателя Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 01.12.2011 г. № 661-од.
