Сканерлеуші зондтық атомды-күштік өлшегіш микроскоптар. Салыстырып тексеру әістемесі
Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные микроскопы (далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 м до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок. Межповерочный интервал микроскопа — один год.
Приказом Председателя Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индуст- рии и новых технологий Республики Казахстан от 6 октября 2010 г. № 442-од
