СТ РК

СТ РК ГОСТ Р 8.635–2010

ҚР СТ ГОСТ Р 8.635–2010

Действующий

Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые.Методика калибровки

Зондтық атомдық-күшті сканерлейтін микроскоптар. Калибрлеу әдістемесі

Страниц 40

Язык Казахский +русский

МКС 17.020

Разработчик РГП «Казахстанский институт стандартизации и сертификации» Комитета технического регулирования и метрологии и техническим комитетом по стандартизации № 72 «Нанотехнологии»

Дата регистрации 01.07.2011

Действует с 01.07.2011

Аннотация

Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы (далее — микроскопы), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с использованием рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.

Ключевые слова

длина рельефные меры нанометрового диапазона сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы методика калибровки

Приказ о введении

Приказом Председателя Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от «06» августа 2010 года № 352-од