СТ РК

СТ РК ГОСТ Р 8.628 -2010

ҚР СТ ГОСТ Р 8.628- 2010

Действующий

Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Монокристалдық кремнийдің нанометрлік ауқымдағы бедерлі өлшемі. Геометриялық пішініне, сызықтық өлшемдеріне және дайындауға арналған материалды таңдауға қойылатын талаптар

Страниц 28

Язык Казахский +русский

МКС 17.020

Разработчик Республиканским государственным предприятием «Казахстанский институт стандартизации и сертификации» Комитета технического регулирования и метрологии и Техническим комитетом 72 «Нанотехнологии»

Дата регистрации 01.07.2011

Действует с 01.07.2011

Действует до 06.10.2015

Аннотация

Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее — рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-8 до 10-6 м.

Ключевые слова

длина рельефные меры нанометрового диапазона монокристаллический кремний размеры формы материал растровые электронные измерительные микроскопы зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы

Приказ о введении

Приказом Председателя Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от «06» августа 2010 года № 352-од