Государственная система обеспечения единства измерений. Размерные параметры наночастиц и тонких пленок. Методика выполнения измерений с помощью малоуглового рентгеновского дифрактометра
Настоящий стандарт устанавливает методику выполнения следующих измерений с помощью автоматического рентгеновского малоуглового дифрактометра: - максимальных размеров и электронных радиусов инерции наночастиц в монодисперсных системах в диапазоне от 1 до 100 нм; - распределения наночастиц по размерам в полидисперсных системах в диапазоне от 1 до 100 нм; - общей толщины и размера периода повторения слоев в многослойных пленках толщиной от 1 до 100 нм.