ГСИ. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки
Распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10- 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер . Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес
приказом Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 22 сентября 2010 г. № 423 -од непосредственно в качестве государственного стандарта Республики Казахстан с 01 октября 2010 г.
