ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки
Распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер. Межповерочный интервал микроскопа - один год
приказом Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 22 сентября 2010 г. № 423-од непосредственно в качестве государственного стандарта Республики Казахстан с 01 октября 2010 г.
