ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления
Устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее - рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9до 10- 6 м. Распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные мерыы, используемые при калибровке указанных типов микроскопов
приказом Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 22 сентября 2010 г. № 423 - од непосредственно в качестве государственного стандарта Республики Казахстан с 01 октября 2010 г.
