ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки
Устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м. Распространяетсяна рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов
приказом Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 22 сентября 2010 г. № 423 -од непосредственно в качестве государственного стандарта Республики Казахстан с 01 октября 2010 г.
