Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Общие требования к методам анализа
МКС: 29.045 КГС: В59
Утвержден и введен в действие Постановлением Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 13.07.1984 № 2490