Трихлорсилан. Метод определения хлористого метила, хлористого этила, бутана, изобутана, хлористого метилена, хлороформа, четыреххлористого углерода, метилдихлорсилана, метилтрихлорсилана, хлорметилметилсилана
Настоящий стандарт устанавливает газохроматографический метод определения компонентов в трихлорсилане в следующих интервалах значений массовых долей хлористого метила от 3·10 до 1% бутана от 1·10 до 1% изобутана от 1·10 до 1% хлористого этила от 2·10 до 1% хлористого метилена от 1·10 до 1% хлороформа от 1·10 до 1% четыреххлористого углерода от 2·10 до 1% метилдихлорсилана от 4·10 до 1% хлорметилметилсилана от 5·10 до 1% метилтрихлорсилана от 2·10 до 1%.
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2491* срок действия установлен с 01.01.86 до 01.01.91**
