Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
МКС: 29.045 КГС: В59
Утвержден и введен в действие Постановление Государственного комитета стандартов Совета Министров СССР от 13.07.1984 № 2491