Дихлорсилан. Методы определения примесей
Настоящий стандарт устанавливает два метода определения примесей в дихлорсилане: химико-атомно-эмиссионный метод с возбуждением спектров дугой постоянного тока и химико-атомно-эмиссионный с возбуждением спектров разрядом с горячим полым катодом.
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 13 июля 1984 г. N 2490