Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний
Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия.
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 N 1068
