Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций.
Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 3 марта 1983 г. N 1067 срок действия установлен с 01.01.84 до 01.01.89**
