СТ РК Монокристалдық кремнийдің нанометрлік ауқымдағы бедерлі өлшемі. Геометриялық пішініне, сызықтық өлшемдеріне және дайындауға арналған материалды таңдауға қойылатын талаптар

Наименование: Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение: СТ РК ГОСТ Р 8.628 -2010

Категория: СТ РК

МКС: 17.020

Количество страниц: 28

Разработчик: Республиканским государственным предприятием «Казахстанский институт стандартизации и сертификации» Комитета технического регулирования и метрологии и Техническим комитетом 72 «Нанотехнологии»

Статус: Действует

Дата регистрации: 01.07.2011

Дата действия с: 01.07.2011

Действует до: 06.10.2015

Приказ: Приказом Председателя Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от «06» августа 2010 года № 352-од

Язык: Казахский +русский

Ключевые слова: длина, рельефные меры нанометрового диапазона, монокристаллический кремний, размеры, формы, материал, растровые электронные измерительные микроскопы, зондовые сканирующие атомно-силовые измерительные микроскопы

Аннотация: Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее — рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-8 до 10-6 м.

Дата обновления: 18.09.2023

Открыть стандарт

ҚР СТ ГОСТ Р 8.628-2010. Монокристалдық кремнийдің нанометрлік ауқымдағы бедерлі өлшемі. Геометриялық пішініне, сызықтық өлшемдеріне және дайындауға арналған материалды таңдауға қойылатын талаптар