СТ РК Қазақстан Республикасының Мемлекеттік өлшем бірлігін қамтамасыз ету жүйесі. 10 НМ-ден 30 НМ дейінгі толқынның ұзындық ауқымында экстремалды ультракүлгін сәулелену рефлектометрі. Салыстырып тексеру әдістемесі

Наименование: Государственная система обеспечения единства измерений Республики Казахстан. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения в диапазоне длин от 10 нм до 30 нм. Методика поверки

Обозначение: СТ РК 2.224-2011

Категория: СТ РК

МКС: 17.020

Количество страниц: 32

Разработчик: республиканским государственным предприятием «Казахстанский Институт Метрологии» Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан (РГП КазИнМетр)

Статус: Действует

Дата регистрации: 01.12.2011

Дата действия с: 01.01.2013

Приказ: Приказом Председателя Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 01.12.2011 г. № 661-од.

Язык: Казахский +русский

Ключевые слова: рефлектометр, коэффициент диффузного отражения, коэффициент зеркального отражения, средство измерений, вакуумное ультрафиолетовое излучение, экстремальный ультрафиолет

Аннотация: Настоящий стандарт распространяется на средства измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения – ЭУФ-рефлектометры, используемые в диапазоне измеряемых значений коэффициентов зеркального и диффузного отражений от 0,01 до 0,7 в диапазоне длин волн от 10 нм до 30 нм (далее ЭУФ-рефлектометры). Измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражений в диапазоне ЭУФ проводят для определения эффективности зеркал и дифракционных решеток при контроле технологических процессов формирования многослойных наноструктур. В качестве источников ЭУФ-излучения используют источники синхронного излучения, переходного излучения и излучатели типа плазменный фокус. В качестве приемников ЭУФ-излучения используют кремниевые фотодиоды с многослойными нанопокрытиями, вторичные электронные умножители и канальные электронные умножители.

Дата обновления: 18.09.2023

Открыть стандарт

ҚР СТ 2.224-2011. Қазақстан Республикасының Мемлекеттік өлшем бірлігін қамтамасыз ету жүйесі. 10 НМ-ден 30 НМ дейінгі толқынның ұзындық ауқымында экстремалды ультракүлгін сәулелену рефлектометрі. Салыстырып тексеру әдістемесі