ГОСТ ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки

Наименование: ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки

Обозначение: ГОСТ 8.593-2009

Категория: ГОСТ

МКС: 17.020

Количество страниц: 12

Разработчик: Российская Федерация

Статус: Действует

Дата регистрации: 01.10.2010

Дата действия с: 01.10.2010

Приказ: приказом Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 22 сентября 2010 г. № 423-од непосредственно в качестве государственного стандарта Республики Казахстан с 01 октября 2010 г.

Язык: Русский

Аннотация: Распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер. Межповерочный интервал микроскопа - один год

Открыть стандарт

ГОСТ 8.593-2009. ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки