ГОСТ ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Наименование: ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Обозначение: ГОСТ 8.592-2009

Категория: ГОСТ

МКС: 17.020

Количество страниц: 10

Разработчик: Российская Федерация

Статус: Действует

Дата регистрации: 01.10.2010

Дата действия с: 01.10.2010

Приказ: приказом Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 22 сентября 2010 г. № 423 - од непосредственно в качестве государственного стандарта Республики Казахстан с 01 октября 2010 г.

Язык: Русский

Аннотация: Устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния (далее - рельефные меры) для диапазона линейных измерений от 10-9до 10- 6 м. Распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов и сканирующих зондовых атомно-силовых микроскопов при проведении метрологического контроля (надзора), а также на рельефные мерыы, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Открыть стандарт

ГОСТ 8.592-2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления