ГОСТ ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Наименование: ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Обозначение: ГОСТ 8.591-2009

Категория: ГОСТ

МКС: 17.020

Количество страниц: 18

Разработчик: Российская Федерация

Статус: Действует

Дата регистрации: 01.10.2010

Дата действия с: 01.10.2010

Приказ: приказом Комитета технического регулирования и метрологии Министерства индустрии и новых технологий Республики Казахстан от 22 сентября 2010 г. № 423 -од непосредственно в качестве государственного стандарта Республики Казахстан с 01 октября 2010 г.

Язык: Русский

Аннотация: Устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10-9 до 10-6 м. Распространяетсяна рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных микроскопов

Открыть стандарт

ГОСТ 8.591-2009. ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки